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Trooper-V Wafer-Level AOI Handler

Trooper-V Wafer-Level AOI Handler

Trooper-V ist ein Hochgeschwindigkeits-AOI-System der nächsten Generation, das für Wafer-Level-Packages entwickelt wurde. Trotz seiner hohen Geschwindigkeit kann das Trooper-V Inspektionssystem einen kompletten Wafer mit ca. 70.000 Chips in nur 2 Minuten inspizieren. Das System verfügt über ein hochwertiges Objektiv, mit dem es möglich ist, verschiedene Vergrößerungsstufen einzustellen, um unterschiedliche Arten und Größen von Chips zu untersuchen. Je nach Kundenanforderung ist es in verschiedenen Ausführungen erhältlich, die es ermöglichen, das System in Reinräumen (Klasse 10) oder in normalen Produktionsräumen zu betreiben.

  • Wafer pro Stunde +30 Wafer
  • Rohwafer (6, 8″ oder 12″) Mylar Waferring (6, 8″ oder 12)
  • Modernes Mikroskop mit Hell- und Dunkelfeldmöglichkeit
  • Hochwertiges Objektiv (2,0x 5,0X 7-fache Vergrößerung)
  • Lichtquelle mit RGB-Konfiguration
  • Kurzwellige Infrarot (SWIR) Bildgebungstechnologie für SiC
  • Anpassbare Wafer Map Generierung
  • Integrierbar für die Handhabung verschiedener Wafergrößen
  • Pre-Wafer-Ausrichtung X-Y-Winkel
  • Chip-Oberflächeninspektion (Kratzer, Risse, abblätterndes Metall, falsch ausgerichtete Schnitte, Fremdmaterial, fehlende Chipkanten, optische Zeichenerkennung, Polyimid-Ablösungen, Verfärbungen und Verunreinigungen)
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