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Wafer-Mapping

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CMan kann nicht verbessern, was man nicht messen kann...

Deshalb fügen wir ständig weitere Messmethoden hinzu. Bei Y-Systems sind wir bestrebt, bei der Reproduzierbarkeit und Empfindlichkeit von Messungen von Materialeigenschaften an vorderster Front zu stehen. Ob für In-situ-Beobachtungen, externe Messungen oder für die Forschung, wir bieten vollautomatische Messgeräte für die Produktion.

Charakterisierung von Phosphormaterialien

Herkömmliche weiße LEDs bestehen aus einer blauen Leuchtdiode und einem gelben phosphoreszierenden Material. Ein Teil des blauen Lichts wird absorbiert, um gelbes Licht zu erzeugen, ein Teil wird durchgelassen. Um ein bestimmtes Weiß zu erzeugen, ist ein genaues Verhältnis von Blau und Gelb erforderlich.

YWafer-YB (gelb und blau) wurde auf dem grundlegenden Design des YWafer-GS Transmissionsmessungsmappings aufgebaut. Die Breitband-Transmissionsquelle wurde durch eine blaue Standard-LED ersetzt, die üblicherweise für die Herstellung der oben genannten weißen Leuchtdioden verwendet wird.

YB-Concept

Um die Phosphoremission und Lichtstreuung richtig zu charakterisieren, werden mehrere Messwinkel bereitgestellt.
(normalerweise 45 oder 60 Grad vom Normalwert).
Dies ermöglicht eine detaillierte Analyse der Farbkoordinatenverteilung über den Wafer.

YB-Concept Software
Analyse der Wafer-Farbkoordinatendispersion

YWafer YB wurde entwickelt, um die beste Reproduzierbarkeit im Wafer-zu-Wafer-Vergleich zu bieten und die Phosphorplattierung zu unterstützen
Hersteller erreichen das Gleichmäßigkeits- und Farbziel für die Herstellung weißer LEDs.

Sowohl YWafer GS4 als auch RD8 können für die Leuchtstoffcharakterisierung konfiguriert werden, aber nur RD8 kann auch für die Messung der Leuchtstoffdicke, einem weiteren wichtigen Parameter, konfiguriert werden.

Wafer Mappers

YWafer Mapper GS4
Photolumineszenz mit einer Fläche von 100 x 100 mm (2 bis 4 Zoll Wafer), Kartierung der epitaktischen Schichtdicke, System zur Messung der Waferkrümmung und mehr für LED/LD, Sensormaterialien, Leuchtstoffe in Forschung und Entwicklung und Produktion. Verfügt über bis zu 5 vorinstallierte Photolumineszenz-Laser-Anregungsquellen sowie Transmissions- und Reflexionsmessungen in einem äußerst kompakten Design.
YWafer Mapper RD8
Photolumineszenz im Bereich von 200 x 200 mm (2 bis 8 Zoll Wafer), Kartierung der epitaktischen Schichtdicke, System zur Messung der Waferkrümmung und mehr für LED/LD, Sensormaterialien, Leuchtstoffe in Forschung und Entwicklung und Produktion. Mehrere Optionen für vorinstallierte Photolumineszenz-Laser-Anregungsquellen, Transmissions- und Reflexionsmessung in einem äußerst kompakten Design.
YWafer Mapper RD8-WL
Roboter-Wafer-Beladung ausgestattet RD8. Der Reinigungsroboter kann entweder 2 bis 6 Zoll Wafer (RD8-WL26) oder 4 bis 8 Zoll Wafer (RD8-WL48) verarbeiten. Photolumineszenz im Bereich von 200 x 200 mm (2 bis 8 Zoll Wafer), Kartierung der epitaktischen Schichtdicke, System zur Messung der Waferkrümmung und mehr für LED/LD, Sensormaterialien, Leuchtstoffe in Forschung und Entwicklung und Produktion. Mehrere Optionen für vorinstallierte Photolumineszenz-Laser-Anregungsquellen, Transmissions- und Reflexionsmessung in einem äußerst kompakten Design.