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Trooper-V Wafer-Level AOI Handler für Wafer-Rekonstruktion

Trooper-V Wafer-Level AOI Handler für Wafer-Rekonstruktion

Trooper-V ist ein Hochgeschwindigkeits-AOI-System für Wafer. Das System basiert auf dem Konzept eines drehbaren Objektivrevolvers. Dieser bietet verschiedene Vergrößerungsstufen, um unterschiedliche Typen und Größen von Dies zu erfassen. Für die Inspektion eines kompletten Wafers mit ca. 70.000 Dies benötigt das Hochleistungsgerät nur 2 Minuten.

  • Wafer pro Stunde +30 Wafer
  • Rohwafer (6, 8″ oder 12″) Mylar-Waferring (6, 8″ oder 12)
  • Modernes Mikroskop mit Hell- und Dunkelfeldmöglichkeit
  • Hochwertiges Objektiv (2,0x 5,0X 7-fache Vergrößerung)
  • Lichtquelle mit RGB-Konfiguration
  • Kurzwellige Infrarot (SWIR) Bildgebungstechnologie für SiC
  • Anpassbare Wafer Map Generierung
  • Integrierbar für die Handhabung verschiedener Wafergrößen
  • Pre-Wafer-Ausrichtung X-Y-Winkel
  • Chip-Oberflächeninspektion (Kratzer, Risse, abblätterndes Metall, falsch ausgerichtete Schnitte, Fremdmaterial, fehlende Chipkanten, optische Zeichenerkennung, Polyimid-Ablösungen, Verfärbungen und Verunreinigungen)