Die Wafer-Rekonstruktion ist ein zentraler Prozess in der Halbleiterfertigung. Dabei werden funktionsfähige Chips auf einem Klebeband, das nach dem Schneiden auf einen Waferring aufgebracht wird, neu angeordnet. Im Wesentlichen geht es darum, 12-Zoll-Standardwafer in Größen wie 8, 6, 5 oder 4 Zoll umzuwandeln oder sogar Chips nach bestimmten Funktionen oder Qualitäten neu anzuordnen.
Ein Beispiel für eine Wafer-Rekonstruktions-Maschine ist der „Trooper-V“, ein Hochgeschwindigkeits-Wafer-Level AOI (Automated Optical Inspection)-Handler. Mit seinem bahnbrechenden Konzept des drehbaren Linsenrevolvers ist der Trooper-V in der Lage, unterschiedliche Chipgrößen und -typen zu verarbeiten. Seine verschiedenen Vergrößerungsstufen von 2,0x bis 7,0x gewährleisten eine unvergleichliche Präzision bei der Waferinspektion. Der Trooper-V zeichnet sich durch eine beeindruckende Effizienz aus: Er benötigt nur 2 Minuten für die Inspektion eines kompletten Wafers, der rund 70.000 Chips enthalten kann.
Einige seiner herausragenden Funktionen sind:
Wafer-Rekonstruktionsmaschinen wie die Trooper-V sind unverzichtbare Werkzeuge in der Halbleiterindustrie, die sicherstellen, dass jeder Wafer strenge Qualitätskontrollen durchläuft, bevor er für den Einsatz freigegeben wird.
Trooper-V Wafer-Level AOI Handler für Wafer-Rekonstruktion Trooper-V ist ein Hochgeschwindigkeits-AOI-System für Wafer. Das System basiert auf dem Konzept eines drehbaren Objektivrevolvers. Dieser bietet verschiedene Vergrößerungsstufen,
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