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Trooper-L Handler de marquage laser wafer-level

Trooper-L Handler de marquage laser wafer-level

Il s’agit d’un dispositif de marquage laser novateur pour wafer-level qui offre une précision élevée pouvant atteindre +/-30um. Le handler est conçu avec une plate-forme solide en granit et des absorbeurs de vibrations pour fournir une base bien équilibrée et alignée, évitant ainsi les erreurs lors du tir du laser. Grâce aux systèmes avancés de vision, il garantit que le wafer soit correctement alignée avant le début de marquage, offrant également une vue en direct permettant à l’opérateur de surveiller tout le processus avec possibilité d’enregistrer des images. Après la phase de marquage, notre système de vision procède à une vérification postérieure afin d’assurer que les résultats obtenus satisfont aux exigences rigoureuses.

  • Option d’entrée et de sortie Cassette de wafer (6 pouces, 8 pouces, 12 pouces)
  • FPH Jusqu’à 1,8 image
  • Alignement de wafer X-Y, angle
  • Laser vert, Laser UV
  •  Positionnement automatisé des wafers de silicium guidé par la vision
  • Plate-forme en granit solide associée à des absorbeurs de vibrations Ant
  • Vision : Alignement de wafer X, Y et angle, vue en direct, inspection post-marquage

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